Vakuumbeständige Lichtleiter-Sensorköpfe

Bei Anwendungen in reinsten und heißen Umgebungen gewährleisten die vakuumbeständigen Lichtleiter und Verbindungsflansche eine lange Betriebslebensdauer und Integrität auch in einem Vakuum.

• Leckrate max. 1 x 10^-10 Pa*m³/s
• Hitzebeständig bis 200 °C
• Reinigungsmittelbeständige Leiterisolierung aus Fluorpolymer oder Edelstahl

Wafererfassung in Nicht-Vakuumumgebungen: siehe Lichtleiter E32 - Spezialanwendungen.