Anpassung an Veränderungen in der Produktionsumgebung und an umweltfreundliche Werkstoffe
Angesichts der steigenden Anforderungen an die Produktivität und Qualität der Halbleiterfertigung ist eine präzise Temperaturregelung auf der Wafer-Oberfläche für die Anlagenleistung ein entscheidender Faktor. Unsere fortschrittlichen, langjährig weiterentwickelten Temperaturregler, gewährleisten eine gleichmäßige Temperaturregelung an mehreren Punkten auf der Wafer-Oberfläche.
Anwendung: Temperaturregelung der Wafer-Oberfläche
Am Zielort der Geräteauslieferung herrschen andere Umgebungsbedingungen, und die PID-Anpassung muss vor Ort erneut vorgenommen werden. Da pro Werkstücktyp eine PID-Anpassung erforderlich ist, kostet die Umrüstung viel Zeit.
Unsere Lösung: modulare fortschrittliche Temperaturregelung
Unser Temperaturregler NX-TC entlastet Produktionsstätten bei aufwändigen Inbetriebnahme- und Einstellarbeiten. Wie eine geschulte Fachkraft registriert er jegliche Veränderung der Bedingungen, die sich negativ auf die Qualität auswirken könnte, und nimmt automatisch PID-Anpassungen für durchgehend optimale Bedingungen vor.
Dank der in dieses Produkt integrierten adaptiven Steuerungstechnologie werden die optimalen PID-Werte während der Inbetriebnahme und während der stabilen Produktion automatisch kalkuliert. Außerdem kann der Temperaturregelstatus der Maschine überwacht werden, sodass bei Veränderungen wie Werkstück- oder Maschinenwechseln optimale Temperaturregelung durch automatische Anpassung des PID-Werts erreicht wird.
Unterdrückt automatisch Temperaturschwankungen, die durch Routinestörungen verursacht werden
Für eine stabile automatische Regelung gegen vorhersehbare Temperaturschwankungen. Trägt zur Qualitätsverbesserung bei und fördert die Produktionskapazität durch Verkürzung der Wartezeit bis zur Temperaturstabilisierung.
Anwendung: präzise Temperaturregelung bei Störungen
Aufgrund der fortschrittlichen Gehäuse und der starken Integration der Halbleiter ist eine strikte Temperaturregelung heute unverzichtbar. Routinestörungen verursachen Temperaturschwankungen, die sich negativ auf die Qualität auswirken. Die Wartezeit, bis sich solche Schwankungen wieder stabilisieren, wirkt Optimierungen der Produktionskapazität entgegen.
Unsere Lösung: fortschrittliche Temperaturregelung
Die Störungsunterdrückung ist eine Steuerungsfunktion zur automatischen Unterdrückung von Temperaturschwankungen, die aufgrund vorhersehbarer Störungen zu erwarten sind. Der Temperaturregler empfängt Auslösesignale, bevor solche Störungen auftreten, sodass die Funktion aktiviert wird und den Stellgrößenbetrag erhöht oder verringert. Diese Form des Autotunings passt also selbsttätig die Stellgröße sowie ihre Betriebs- und Wartezeit an.
Die Temperaturregler NX-HTC und NX-TC sorgen für eine stabile automatische Regelung bei vorhersehbaren Temperaturschwankungen, die z. B. durch eintretende Außenluft beim Öffnen und Schließen von Türen verursacht werden. NX-HTC und NX-TC verbessern die Qualität und steigern die Produktionskapazität, indem sie die Wartezeit bis zur Temperaturstabilisierung verkürzen.
Technologische Voraussetzungen
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Informationssteuerung und Produktivität in einem kompakten Controller
Der modulare Maschinen-Controller der NX1-Baureihe bietet Ablauf-, Bewegungssteuerungs- und Informationsfunktionen. Dabei verbindet er die Bereiche Produktion und IT, reduziert den Entwicklungs- und Wartungsaufwand und macht Middleware überflüssig.
Die Regler der nächsten Generation
Der NX-TC ist ein Regler der nächsten Generation, der eine optimale und automatische Temperaturregelung ohne menschliches Eingreifen ermöglicht. Der NX-HTC geht noch einen Schritt weiter, um Anomalien aufgrund falscher Maschinenmontage/-wartung zu verhindern und den Arbeitsaufwand für die Analyse und Behebung von Anomalien zu reduzieren.
Leistung und praktische Anwendbarkeit für Maschinensteuerungen
Bei der modernen Maschinensteuerung müssen verschiedene Bewegungsachsen systemweit mit einer Genauigkeit im Mikrosekundenbereich synchronisiert werden. Das NX E/A-System bietet eine solche Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl an Ein- und Ausgängen. Sein ultraschnelles internes Bus-System wird mit der Distributed Clock des EtherCAT-Netzwerks synchronisiert, was einen systemweiten deterministischen E/A-Betrieb ermöglicht.
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